事業内容のご案内

大口径レーザー干渉計

Verifire Atz

高分解能でありながら
ノイズの少ない高品位なデータを、安定して取得。

VeriFire AtzとはZygo社製の光干渉計です。干渉計の原理は光源から出た光を2つ以上の光に分割し、別々の光路を通ったあと再び重ね合わせ、光路差により発生する干渉縞を捉え、これを解析して被検面の表面形状や透過波面形状を求めるものです。

干渉計は広く普及し、様々な用途で活躍している測定機です。その中でもVeriFire Atzは高空間分解能、干渉ノイズ抑制、振動補正等の機能を搭載しており、被検面の形状精度において高精度で信頼のおける測定を可能としています。クリスタル光学が所有するVeriFire Atzでは口径12インチ(約φ300mm)まで測定が可能。また、干渉計では難しいとされる非球面の測定にも取り組むなど、さらに対応の幅を拡大するとともに、高精度な測定をもとに信頼のおける製品作りを目指しています。

Zygoユーザーインタビュー/キャノン株式会社様

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