実 績
大型LBO単結晶基板 研磨加工 100x100x1.5mm
世界最大サイズのLBO単結晶基板の研磨加工に成功しました
「激光Ⅻ号」
画像提供：大阪大学レーザー科学研究所
大阪大学 レーザー科学研究所の施設である「激光Ⅻ号」は、世界でも有数の大型実験装置として広く知られています。
クリスタル光学は、LFEXレーザーに導入されるLBO単結晶として、世界最大サイズのLBO単結晶基板の研磨加工に成功いしました。
共同開発 ： 大阪大学レーザー科学研究所 有川 安信講師
【大型LBO単結晶基板 100x100x1.5mm】
加工精度
＜透過波面精度＞
乱れは0.26μｍと非常に優れた研磨精度を実現しました。
◆透過波面精度 ： PV0.26μm
◆測定器 ：Zygo Veriｆire ATZ
＜粗さ＞
◆表面粗さ：Sa0.44nm
◆測定器 ：Zygo NewView 8300
【使用測定器】
◆大口径（12インチ）レーザー干渉計
装置名 ： Veriｆire ATZ （Zygo）
測定範囲 ：φ300mm
◆非接触表面性状測定機
装置名 ： New View8300 (Zygo)
倍率 ： x1.375～x100：（6x6mm）/(0.08×0.08mm)
【関連技術情報】