実 績

大型LBO単結晶基板 研磨加工 100x100x1.5mm

世界最大サイズのLBO単結晶基板の研磨加工に成功しました

「激光Ⅻ号」
画像提供:大阪大学レーザー科学研究所

大阪大学 レーザー科学研究所の施設である「激光Ⅻ号」は、世界でも有数の大型実験装置として広く知られています。
クリスタル光学は、LFEXレーザーに導入されるLBO単結晶として、世界最大サイズのLBO単結晶基板の研磨加工に成功いしました。
共同開発 : 大阪大学レーザー科学研究所 有川 安信講師

【大型LBO単結晶基板  100x100x1.5mm】

加工精度
<透過波面精度>
乱れは0.26μmと非常に優れた研磨精度を実現しました。
◆透過波面精度 : PV0.26μm
◆測定器 :Zygo Verifire ATZ

<粗さ>
◆表面粗さ:Sa0.44nm
◆測定器 :Zygo NewView 8300

【使用測定器】
大口径(12インチ)レーザー干渉計
装置名 : Verifire ATZ (Zygo)
測定範囲 :φ300mm

非接触表面性状測定機
装置名 : New View8300 (Zygo)
倍率 : x1.375~x100:(6x6mm)/(0.08×0.08mm)