実 績
球面干渉計スティッチング計測
球面干渉計を用いたスティッチング計測技術を開発しました。
ご利用中の干渉計にスティッチングソフトを導入いただくことで、測定領域の拡大を実現することが可能です。
お客様のご要望に沿った、ソフト、ハー ド（回転ステージ）、付随する干渉計アクセサリー等をご提案致します。
※スティッチング：複数の重なり合った画像をつなぎあわせ、1つの画像に結合する技術
既設の干渉計を利用し、測定径以上の測定サンプルを分割して測定します。
専用ソフト「CStitch」で計算し、画像をつなぎ合わせることで、大口径の面計測を可能にします。
◆評価概要（例）
測定対象物を回転機構の治具に搭載し、中央部と周辺(複数面)を測定を行います。
◆測定イメージ
測定したデータを独自のソフトウェア 「CStitch」による計算により、部分測定径以上の評価が可能になります。
◆スティッチ計算結果
スティッチ計算：自社製ソフトウエア CStitch
解析：MetroPro（Zygo製）
【測定精度検証実験】
スティッチ測定 と 全面測定
・対象サンプル：凹球面(φ160㎜-SR206㎜)
・使用機器：干渉計 Verifire(Zygo) TS：4inch, f/0.77 f/3.3
◆計測システム 付属
1インチ干渉計
（株）清原光学製
φ300mmレーザー縦型干渉計/φ25ｍｍレーザー干渉計（ニュートンチェッカー）
ビームエキスパンダー
（株）清原光学製
球面原器
（株）清原光学製
干渉計用６インチ球面原器
回転機構
（株）清原光学製
